新能动力发布中压MDVR：以“集中防御”破解晶圆厂“晃电”停机难题

在半导体制造中，最昂贵的成本往往不是设备折旧，而是不可预知的“停机”。对于12英寸晶圆厂而言，电网侧一次仅仅持续十几毫秒的电压暂降（俗称“晃电”），不仅会导致昂贵的光刻机、刻蚀机、离子注入机等精密设备瞬间触发保护停机，更可能让处于真空腔体内的整批晶圆直接报废，甚至造成严重的设备损伤。

今年，国家发改委、国家能源局印发《供电质量提升专项行动（2026—2028）》，明确要求重点解决芯片制造等新质生产力产业的电压暂降痛点，并鼓励用户侧主动配置动态电压恢复器（DVR）等治理设备。

在此背景下，在近日举办的IC China 2026展会上，国家级专精特新“小巨人”企业新能动力（Novtium）正式发布了自主研发的中压动态电压恢复器（MDVR），为半导体厂务端提供了一种从“分散治理”走向“集中防御”的全新供电保障方案。

厂务端的痛点：传统保电方案为何“力不从心”？

半导体产线对电能质量的要求近乎苛刻。据行业统计，在影响高端制造业的电能质量问题中，电压暂降和短时中断占比高达90%以上。面对这一隐患，传统厂务端通常采用快切装置、专用变电站、传统UPS或低压DVR，但这些方案在实际应用中均存在难以回避的局限：

快切装置与专变：响应时间往往超过100ms，无法在设备触发保护前完成补偿；且专变只能解决容量问题，无法抵御上级电网故障带来的暂降。

传统工频UPS：不仅体积庞大、需要专属空调机房，且过载能力弱。在产线密集区，UPS庞大的电池组运维成本高，且存在一定的消防隐患。

低压DVR分散治理：若部署在400V末端，每台设备只能保护单一产线。要在整座Fab实现全覆盖，需要安装成百上千台低压设备，不仅空间受限，碎片的运维也大幅增加了厂务部门的管理压力。

技术破局：中压直挂带来的“降维”保护

新能动力此次发布的MDVR，核心逻辑在于将保护节点上移，直接挂网于中压配电母线。单台设备即可为整个生产车间提供集中式保护。

据新能动力创始人张东胜博士介绍，MDVR具备以下适用于半导体场景的硬性指标：<3ms极速响应与高耐受力：电网电压发生跌落的瞬间，设备迅速注入补偿电压，确保下游精密设备无感知；同时，超强扛过载能力使其能够从容应对产线内大型负载启动或短路带来的冲击，避免了传统UPS在过载时易宕机的风险。

释放Fab空间与降低TCO：中压集中式方案大幅缩减了末端低压设备的铺设数量，节省了宝贵的无尘室和配电房空间。同时，采用旁路待机模式，电网正常时设备处于低损耗状态；中压直挂设计省去了庞大的电池组，降低了全生命周期（TCO）的运维与更换成本。

深度国产替代：从机台保护到厂区防线

长期以来，国内高端电能质量治理装备市场多被进口设备占据。随着国内半导体产业链自主可控的推进，国产设备正在打破这一格局。新能动力作为国内最早实现DVR规模化应用的企业，目前已在半导体领域服务了超过200家精密制造企业。其设备先后落地上海华虹宏力、燕东微电子、长鑫集电等标杆企业。

随着国家《供电质量提升专项行动》的深入实施，半导体产业的供电安全管理正从“事后抢修”向“事前预防”转变。 MDVR的推出，不仅丰富了新能动力的产品矩阵，也为国内晶圆厂在规划新产线或改造旧厂务系统时，提供了一个更符合本土需求、具备高可靠性与经济性的中压保电新选择。