半导体杂质检测难？安捷伦领跑半导体检测设备，亮相CarbonSemi 2022！

电子信息时代下，移动互联、智能化技术浪潮激发上游半导体产业爆发式增长。现阶段，半导体产业中，中国的崛起已是不争的事实。半导体是现代电子产品的核心，应用于从智能手机到汽车的所有领域。随着半导体行业的发展，器件变得更小、更快、更可靠、更强大。

在半导体设计、制造、封装中的各个环节都要进行反复多次的检测、测试以确保产品质量，从而研发出符合系统要求的器件。其中，相关的缺陷引起的故障成本高昂，从IC级别的数十美元，到模块级别的数百美元，乃至应用端级别的数千美元。保障产品良率是半导体厂商最为关注的问题。

然而，影响产品良率的原因有很多，污染无疑是其中非常重要的因素。业内人士估计，污染造成了约50%的产量损失。因此，工欲善其事，必先利其器，检测设备从设计验证到整个半导体制造过程都具有无法替代的重要地位。目前，我国半导体材料国产化替代市场需求期望大、发展空间广阔，同时各方资源共同推动行业上游材料、设备的进步。

尤其是从上世纪70年代到今天，芯片制程已经从“微米”时代，经过“纳米”时代，发展到了今天10纳米以下。随着元件缩小到单个纳米尺度，对控制晶圆、电子化学品、电子特气和靶材等原材料中的污染物和杂质的含量的控制至关重要，因为即使是超痕量杂质污染物也会造成器件缺陷，降低制造产量，导致产品可靠性问题，或导致产品故障。

所以，半导体和电子产品中的杂质分析必须在整个制造过程的每个阶段进行，从测试晶圆片、原材料和工艺化学品到最终产品的质量保证/质量控制。另外，真空的控制也贯穿半导体全产业链的装置制造、传感器制造、控制器件制造过程等先进制造环节。

然而半导体杂质含量通常在ppt级，ICP-MS分析时用到的氩气及样品基体都很容易产生多原子离子干扰，标准模式、碰撞模式下很难在高本底干扰的情况下分析痕量的目标元素。

作为半导体领域的全球领导者，自 20 世纪 80 年代后期以来，安捷伦与领先的半导体制造商和化学品供应商密切合作，开发针对半导体产业链分析技术和监测技术，应对半导体行业的分析调整，并始终处于创新最前沿。

安捷伦积累了的大量创新技术和卓越的服务能力，在半导体产业链中的制程监测、原材料质控、无机杂质、纳米颗粒、有机杂质检测，符合环境健康和安全法规需求，以及真空检漏等方面，安捷伦都会提供分析仪器、软件、服务和支持。

2022年5月18-20日，安捷伦亮相由DT新材料主办的第二届碳基半导体材料与器件产业发展论坛（CarbonSemi 2022）展位号A9，相约浙江宁波东港喜来登酒店，欢迎大家莅临展位参观交流！

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