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作为新世纪的超级材料,金刚石的优异性质不断被发掘并广泛应用,不仅在切削加工领域拥有“工业牙齿”的美誉,航空航天、国防军工、5G半导体、医疗等众多领域均不乏它的身影。金刚石兼具物理的和化学的优良性质,尤其是金刚石的半导体电气性质,即宽带隙、高击穿电场、高载流子迁移率和高热导率,成为固态功率器件最有前途的半导体材料之一,被誉为“终极半导体”!另外,单晶金刚石凭借优异的电学性质在微电子机械系统、声学器件、半导体器件、功率器件、探测器、生物医疗、量子计算通讯等领域的应用日益受到学术界和产业界的关注,具有广阔的应用前景,其在科技领域的地位与重要性与日俱增,更高性能的科研利器!
但大尺寸、高品质单晶金刚石的制备是制约其应用的主要瓶颈,未来新应用市场布局的必要前提。这就对金刚石的生长、加工技术、关键设备提出了新的要求。
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)单晶金刚石生长技术一般采用金属作腔体,由于其微波能量无污染、气体原料纯净、没有催化剂和杂质的掺入等优势,使得金刚石的质量得到改善,在众多金刚石制备方法中脱颖而出,成为制备大尺寸、高品质单晶金刚石最有发展前景的技术之一,这也大大拓展了金刚石材料在高技术领域的应用潜力。
MPCVD技术目前在国外已经得到了很好的应用,市场上的主流公司包括Element 6,IIa Technologies、Diamond Foundry等,都在使用MPCVD法工业化生产单晶金刚石。然而,由于工业化生产单晶金刚石所需要的MPCVD设备对设备性能要求高,开发难度大,尤其是生产线批量生产单晶金刚石所用的多台套MPCVD设备之间的控制和稳定性要求极高,导致国内涉足这一领域的厂家并不多,再加上其技术研发成本和设备制造的投资较大,目前国内市场还处于被欧美日厂商垄断的状态。
2020年末,铂世光实现了国内MPCVD设备在这一领域零的突破。为国内金刚石的应用研究打下了坚实基础,也在“科技强国”的道路上留下了浓墨重彩、格外重要的一笔!
上海铂世光半导体科技有限公司
上海铂世光半导体科技有限公司是一家专业生产MPCVD设备的高新技术企业,位于上海市青浦区高新成果转化基地,公司交通条件便利,建有一流的实验室及洁净生产车间,具有国际一流的生产及测试设备。
公司由全球行业内顶尖技术人员领衔,目前已成功研发生产出国际领先的MPCVD人造金刚石设备,并大批量交付客户使用,公司产品性能已超过国际同行,具有较强的市场竞争力。
2022年5月18-20日,上海铂世光半导体科技有限公司亮相由DT新材料主办的第二届碳基半导体材料与器件产业发展论坛(CarbonSemi 2022)展位号A17,相约浙江宁波东港喜来登酒店,欢迎大家莅临展位参观交流!
据了解,上海铂世光半导体科技有限公司专注于微波等离子设备的研发生产,不断做强做大MPCVD产品系列,成为国际领先的MPCVD设备供应商,同时拓展半导体设备生产领域,特别是在微波等离子领域,公司有深厚的技术积累,公司矢志成为行业的全球性技术型领军企业。
公司优势
• 详细的售前咨询
• 协助客户完善水,电,气路规划,降低投资成本
• 常备库存,令客户满意的交货周期
• 专业的安装调试,操作培训
• 完备的备品备件
• 完善的售后服务
6KW设备优势:
• 反应可控,能长时间稳定工作在6KW
• 所有电子设备中采用微波,没有电极放电,没有金属污染
• 高功率高密度等离子体稳定在离石英窗一定位置,减少硅的析出
• 参照C/H/O比例表,对反应物有更大的选择余地
• 采用高效散热的样品台,最大散热能力可达15KW以上
• 高效率微波利用率,氢等离子体直接作用于样品台加热时效率可达75%以上
• 高可靠性,高实验重复性,高设备耐久性
• 简捷的人机交互界面
• 安全性高
8KW/10KW设备优势:
• 反应可控,能长时间稳定工作在8KW/10KW
• 所有电子设备中采用微波,没有电极放电,没有金属污染
• 参照C/H/O比例表,对反应物有更大的选择余地
• 采用高效散热的样品台,最大散热能力可达20KW以上
• 高效率微波利用率,氢等离子体直接作用于样品台加热时效率可达75%以上
• 高可靠性,高实验重复性,高设备耐久性
• 简捷的人机交互界面
• 安全性高
联系方式
联系电话:18916841139
公司地址:上海市青浦区新科路303号B1幢
201700
公司官网:www.worldiray.com
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