助力半导体产业检测设备国产化！！高端科学仪器制造商谱育科技亮相CarbonSemi2022

2022-03-22 0 点赞 0 评论 2232 浏览

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杭州谱育科技发展有限公司(简称“谱育科技”) 创立于2015年，总部位于浙江杭州，是一家专注于重大科学仪器研发和产业化创新应用的国家高新技术企业，推动以技术创新实现分析检测及监测的现场化、自动化、智能化，致力于成为全球领先的科学仪器制造商，实现科学仪器的“中国梦”。

谱育科技研发团队经过十余年的高比例研发投入及重大科学仪器研发积淀，完成了数十项国家重点研发计划专项及国家/行业标准制定工作，掌握了较完整的质谱、色谱、光谱、理化等分析检测技术及气体、液体、固体等进样前处理技术，研制了实验室分析、现场化分析（便携、在线、移动）、自动化分析等一系列技术领先的产品组合。在先进工业、生态环境、医疗诊断、生命科学、食品药品、应急安全等领域为全球用户提供全方位、专用化的科学分析解决方案。

半导体制造行业对于金属污染物、洁净室AMC污染物等都有严格管控要求。检测设备作为能够优化制程控制良率、提高效率与降低成本的关键，未来在半导体产业中的地位将会日益凸显。针对行业现状，谱育科技推出了一系列的解决方案，以及相对应的高精度检测仪器和在线系统。

1. 半导体行业痕量、超痕量金属污染检测

半导体产品在制造过程中，金属污染会对制程良率造成极大的影响。在整个半导体产业链中，从衬底、化学品、特气等半导体材料的制造，到晶圆的加工，都对金属污染有着严格的管控要求。

谱育科技针对半导体行业各个环节的金属污染检测，推出了一系列解决方案以及相关产品，可以满足各类半导体用户对金属污染的相关检测需求。

2. 半导体AMC在线监测解决方案

AMC是危害半导体生产工艺并导致成品率降低的分子态化学物质。AMC会在半导体制造的栅底氧化、薄膜、硅化物和多晶硅形成、接触成型、光刻等多个关键工艺上造成各种危害，影响产品质量，是半导体制造面临的越来越严重的问题，也是生产环境控制中亟待解决的问题。随着半导体制造技术的发展，对AMC的控制标准将越来越严格。

谱育科技针对半导体行业对洁净室AMC管控要求，推出了一系列解决方案以及相对应的离线、在线检测设备。

3. 特气检测仪

半导体行业在芯片制造过程（扩散、沉积、刻蚀等）中会使用到各种易燃易爆、有毒有害的电子特气，常见的电子气体包括了可燃气体、硅烷、磷烷、锗烷、氨气、氯气、氰化氢、磷化氢、氯化氢等气体；这些特气在使用过程有出现泄漏的可能性，可燃气体发生泄漏可能会引起爆炸事故，有毒有害气体泄漏则会对人产生直接的影响，造成人员中毒甚至直接威胁人员的生命安全。

明星产品

EXPEC 7350 QQQ ICP-MS

EXPEC 7350 QQQ ICP-MS颠覆传统，推出具有创新性的垂直炬管设计，打造真正的国产三重四极杆ICP-MS，将国产ICP-MS技术平台推向巅峰。

EXPEC 7350拥有垂直炬管带来的基体承载优势，三重四极杆赋予的强大干扰消除能力及灵活分析能力，即使面对极为棘手的复杂样品，均可获得超乎想象的稳定测量结果。

应用领域

半导体衬底抛光片、外延片表面金属测试；
电子级化学品杂质含量测试；
电子特气、洁净室AMC金属污染测试。

产品特点

颠覆性的垂直炬管设计：降低氩气消耗，提升炬管、离子接口使用寿命；
90°离轴的离子传输系统：彻底消除中性粒子干扰，提升信噪比；
真正的三重四极杆设计：Q1、Q2均实现单位质量分辨；
五路碰撞反应气：分布式进气碰撞反应池设计；多重选择、快速切换；

GDM-2100 Series

GDM-2100 Series是一款专门针对半导体行业用户设计开发的泵吸式特气检测仪，其具有高可靠性、高灵敏度等技术特点，采用业界先进的smart sensor传感技术，支持4-20mA、Modbus等多种数据传输模式，可测量NH3、HCL、HF、SIH4、PH3、NF3、COS等几十种电子特气。

产品特点

特气检测仪主体采用通用化设计，可兼容EC、NDIR、Catalytic等多种检测原理的smart sensor模组，让特气检测仪主机实现了通用化，节约了用户的购机成本；
Smart sensor模组自带核心处理器，支持离线校准，校准后无需任何设置即插即用，提高了现场用户的日常维保效率；
支持POE HUB供电，使用LAN网线给特气检测仪提供工作电源，可大幅削减施工成本，输出modbus/TCP数字信号，可通过 web浏览器获取特气检测仪的运行情况；

测量气体列表